원리
초순수란 일반적으로 Resistivity 10~18㏁/㎝까지의 순수를 말한다. 이 초순수는 원자의 결합측정 연구(Enzine Studies) 및 유전공학 연구 등의 기초과학분야는 물론 반도체(Semiconductor), 화학 (Chemical)을 비롯한 High Technology산업에 이르기까지 광범위한 분야에 걸처 핵심적인 재료로 사용된다. 따라서 정교한 System에 의해 처리된 초순수는 주위환경 및 조건에 의해 민감한 변화를 가져올 수 있으므로 이의 저장에 있어서 많은 주위가 요구된다. Storage Tank로 CO₂ 유입, 저장시간 및 면적에 따른 오염 가능성, 공기중의 미생물 침투현상 등을 제거시켜야하며 이러한 조건들을 충족 시키기 위해서는 특수 제작 된 Storage Tank 의 사용이 바람직하다.
용도
1. 전처리 UNIT : Clarifier, Press Filter, Fe Remover, Activated Carbon Filter, Safety Filter
2. Ro UNIT : 사용목적과 수질, 수량에 따라 Tube형과 Spiral Pollow Bar형으로 구별된다.
3. Final Polishing Unit(FPU)
1) UV(자외선 살균장치) : 세균의 살균과 번식을 방지하기 위하여 설치
2) CP(비재생용 순수장치) : 초순수장치에서 최종적으로 완전제거를 목적으로 설치
3) UF(한외여과장치) : Use Point 에 공급하는 초순수중의 미립자를 최종적으로 제거하기 위한 목적으로 설치
2. Ro UNIT : 사용목적과 수질, 수량에 따라 Tube형과 Spiral Pollow Bar형으로 구별된다.
3. Final Polishing Unit(FPU)
1) UV(자외선 살균장치) : 세균의 살균과 번식을 방지하기 위하여 설치
2) CP(비재생용 순수장치) : 초순수장치에서 최종적으로 완전제거를 목적으로 설치
3) UF(한외여과장치) : Use Point 에 공급하는 초순수중의 미립자를 최종적으로 제거하기 위한 목적으로 설치
